氩气回收装置
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氩气回收装置

氩气回收装置

  • 品牌宏盛中弘
  • 产地杭州
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 氩气广泛应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,手套箱,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等领域。

针对多晶硅生产排放的富氩尾气,公司开发出具有自主知识产权的无氢精馏提氩装置,相对传统的有氢催化制氩法,本装置具有如下特点:

(1)     流程简化、投资省、能耗低;

(2)     氩气提取率高、纯度高;

(3)     操作简单、运行稳定、自动化控制水平高;

(4)     取消氢气站、催化脱氧净化车间,不仅降低工程投资,而且提高了装置的安全性。